九峰山实验室全球首制8英寸氮极性氮化镓,键合界面良率超99%引领科技革新

   发布时间:2025-03-24 08:32 作者:钟景轩

近日,九峰山实验室传来振奋人心的消息,其科研团队成功制备出全球首块8英寸硅基氮极性氮化镓(N-polar GaNOI)高电子迁移率材料,这一成就标志着我国在先进半导体材料领域取得了重大进展。

这项技术的突破,不仅打破了长期以来国际上的技术壁垒,更为射频前端等系统级芯片的性能提升开辟了新途径。在频率、效率以及集成度等多个维度上,这一创新将为下一代通信技术、自动驾驶、雷达探测以及微波能量传输等领域提供强有力的支撑。

氮化镓,作为一种具有优异性能的半导体材料,其晶体结构的极性方向对器件性能有着至关重要的影响。氮极性氮化镓和镓极性氮化镓是两种主要的极化类型,而在高频、高功率器件的应用场景中,氮极性氮化镓展现出了更为突出的技术优势。

然而,氮极性氮化镓材料的制备难度极大,对生长条件的要求极为严苛,工艺也相当复杂。因此,全球范围内能够生产2-4英寸氮极性氮化镓高电子迁移率衬底材料的机构寥寥无几,且成本居高不下,这极大地限制了其应用范围的拓展。

九峰山实验室的这次突破,主要体现在以下几个方面:首先,团队采用了硅基衬底,这一创新使得该技术能够与8英寸主流半导体产线设备完美兼容,同时深度集成了硅基CMOS工艺,从而大幅度降低了生产成本,并为大规模量产提供了可能。其次,所制备的材料在性能上实现了显著提升,不仅具有高电子迁移率,还展现出了优异的可靠性。最后,键合界面的良率超过了99%,这为后续的产业化进程奠定了坚实的基础。

氮极性氮化镓材料在高频段,特别是毫米波频段的应用中表现出色,因此被视为5G/6G通信、卫星通信以及雷达系统等领域的理想选择。随着这一技术的不断成熟和推广,我们有理由相信,它将在多个高科技领域发挥重要作用,推动相关产业的持续升级和创新。

 
 
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